[온도 제어장비] Clean Air Oven (청정 순환 오븐)
본문
▷ 적용 : 반도체산업에서 웨이퍼의 풀림 (Annealing), 레지스트 멤브레인의 건조, 광학, 의약품, 기구 살균, 식품 등 청정한 공기 조건을 갖춘 작업
무균, 무진 환경이 필요한 부품이나 기구의 열처리 (Baking), 건조 용도로 사용합니다.
▷ 디지털 PID 콘트롤러로 정밀한 온도 조절. (자동튜닝 기능내장).
▷ CAL : 온도편차 보정 값 입력 기능. (온도 보정 값 제공)
▷ ISO Class 5 (Class 100)의 청정 공기가 챔버 내부로 재순환 됩니다. (Class 10 옵션)
▷ 스테인레스 강판 내부 구조는 미려하고 온도 분포도를 높임과 동시에 내구성을 유지.
▷ 정전 시 자동 제어 복귀 기능, 콘트롤러 Key lock 및 Wait zone 기능.
▷ 과열 방지 장치 부착 등 중요한 시료를 위한 다양한 안전 장치.
Model No. | ETC-555C | ETC-555CL | ETC-555CX |
|
In Dimensions |
(W x D x H / mm) | 500 x 500 x 600 | 600 x 500 x 800 | 1300 x 1000 x 1400 |
Out Dimensions |
(W x D x H / mm) | 700 x 850 x 1150 | 800 x 850 x 1350 | 1875 x 1140 x 1990 |
Volume | 150 L | 240 L | 1820 L |
|
Controller | Digital PID temp, controller with auto tuning function (V97-SJ0) |
|||
Temperature Range | Ambient +5℃ ~ 200 ℃ |
|||
Stability | ≤± 1.0℃ @ 100℃ | |||
Timer | 99day 23hr, 99hr 59min,99min 59se, Continuous (Selectable), Wait zone function | |||
Shelf | Adjustable Position | 3 pcs | 6 pcs | |
Material | Interior | Stainless steel plate (SUS 304) | ||
Exterior | Steel plate with powder coating finished (SCP-1) | |||
Filter | H14 HEPA filter (EN 1822-1 compliant) Efficiency : 99.995% of the paticles < 0.3㎛,Class 100 | |||
Safety devices | Exclusive over temp. limit (Hydraulic thermostat), Circuit breaker, Sign tower (R,Y,G 3 color / Option), Visible & audible alarm, etc. | |||
Power source (Heater) | AC 220 V, 60 Hz, 1 Phase, 2 kW | AC 220V, 60 Hz, 1 Phase, 3 kW | AC 380 V, 60 Hz, 3 Phase, 9 kW | |
Optional (Accessories) | Programmable controller | 8 pattern 144 segments (BK3-LCD9) / 2 Pattern 10 segments (UP35A) / 30 Pattern 300 Segments (UP55A) | ||
Comm. pack | RS-232 or RS-485, RS-422 Interface port, USB Converter, Software (SJ-DAC or SJ-TH Ver.1.1), Comm. cable | |||
N2 pack | N2 Flow regulator (SJ-555C-N2), N2 Purge device (Tube,Cock,etc.) | |||
Data acquisition | 6 CH Dot type recorder (SR10006) / Pen type recorder (SJ-KA100-1) / 2 CH DIgital recorder (SDR102) | |||
Filter | U16 ULPA Filter class 10 (SJ-555-UF) / HEPA filter for high temp. 200℃ (SJ-555-HFHT) | |||
등록된 댓글이 없습니다.
